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Microchem

能够适用于大多数系统和生产设备的配置
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能够适用于大多数系统和生产设备的配置

性能规格:

 

孔径大小等级:

0.03, 0.05, 0.1, 0.2, 1.0 micron (μm)

最大压差:

3.40 bard (3.47 kg/cm2d, 49 psid) @25°C (77°F)

最大操作温度:

60°C (140°F)

膜区域:

16:1500 cm2

40:3500 cm2

应用:

193nm248nm光刻胶系统过滤

遗留光化学过滤

适用于显影剂和去离子水


《详细PDF资料》