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MX 60x 系列

非接触式晶圆电阻率,厚度和P/N测量仪

MX60x 系列用来测量硅片和其他材料的电阻率或表面电阻。

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非接触式晶圆电阻率,厚度和P/N测量仪

MX60x 系列用来测量硅片和其他材料的电阻率或表面电阻。

应用:

  • 晶圆生产
  • 回收
  • R&D
  • 在工艺控制方面
    • 厚度
    • TTV
    • 电阻率/表面电阻
    • RRV
    • 掺杂物


低电阻率:
计量器型号 晶圆尺寸 电阻率范围 厚度范围
MX 604 / MX 604-B silicon blocks 0.25 - 25 Ohm*cm  
MX 604-S 2" - 8" 0.1 - 50 Ohm/square 200 - 900µm
MX 604-ST 125x125, 156x156mm
2"-6"
0.06 - 30 Ohm*cm 60 - 300µm
MX 608 6", 8" 0.001 - 200 Ohm*cm 500 - 800µm
MX 608-q 125x125, 156x156mm 0.1 - 50 Ohm*cm 150 - 350µm
MX 6012 8", 12" 0.001 - 200 Ohm*cm 600 - 900µm


高电阻率:
计量器型号 晶圆尺寸 电阻率范围 厚度范围
MX 601 up to 6" 5E4 to 5E9 Ohm*cm 350 - 650µm
MX 6010 2", 3", 4" 2E5 to 2E9 Ohm*cm 300 - 600µm