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MX 20x 系列

无接触式晶圆几何结构测量仪


E+H 几何结构测量仪是基于两块相互平行安装的厚板。嵌入在金属碟内的是一组电容式的距离传感器。晶圆能够在两个金属碟内手动的或者自动的移动,测量时则不需要任何移动。


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无接触式晶圆几何结构测量仪


E+H 几何结构测量仪是基于两块相互平行安装的厚板。嵌入在金属碟内的是一组电容式的距离传感器。晶圆能够在两个金属碟内手动的或者自动的移动,测量时则不需要任何移动。


应用:

  • 引入式的晶圆检测
  • R&D
  • 工艺条件
  • 在工艺控制方面
    • 厚度 (e.g. backend)
    • TTV
    • 曲翘度, FPD
    • 应力

标准厚度:


计量器型号 晶圆尺寸 传感器数量 厚度范围
MX 203-4-21 2", 3", 4" 5, 13, 21 200 - 800µm
MX 203-6-33 4", 5", 6" 17, 25, 33 300 - 900µm
MX 203-8-37 6", 8" 21, 37 400 - 1000µm
MX 204-8-37 6", 8" 21, 37 400 - 900µm
MX 2012 12" 69 500 - 1000µm
MX 2012-H 12" 69 500 - 900µm