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IL 2600 晶圆分拣和传输设备

InnoLas Semiconductor是世界领先的高品质晶圆激光打标设备(wafer marker)和分拣设备(wafer sorter)的德国制造商。应用于2“ 至450毫米尺寸的晶圆和几乎所有的材料,例如硅,碳化硅,砷化镓,石英,蓝宝石,锗等。是全球第一家提供450mm的激光打标和分拣设备制造商。
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InnoLas Semiconductor是世界领先的高品质晶圆激光打标设备(wafer marker)和分拣设备(wafer sorter)的德国制造商。应用于2“ 至450毫米尺寸的晶圆和几乎所有的材料,例如硅,碳化硅,砷化镓,石英,蓝宝石,锗等。是全球第一家提供450mm的激光打标和分拣设备制造商。

标准功能 : 

可选功能:

-支持2"200毫米晶圆尺寸  

-SECS/GEM接口

-多达6盒站 

-边缘握手处理 

-使用双臂机械手,已达到最高生产量

-以晶圆厚度的排序

-晶圆ID读码器 

-晶圆盒ID读码器 

-槽映射传感器

-手持条码阅读器


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